電容式傳感器的輸出電壓，輸入功率之間的關系F作為一種力量。KC和Ku是無能為力的位移，位移電容器，電容器的輸出電壓比例系數;傳感器的輸出電壓U。很顯然，在力的位移，位移的電容，電容的輸出電壓的每個環節的過程中，傳感器的結果受到影響。電容檢測電路的線性度很容易得到保證，即，庫是恒定的，所以影響傳感器的線性度的主要因素是力-位移和位移-電容轉換過程的非線性。

　　普通電容式傳感器結構是0靜態頻率檢測，傳感器位移x和測力是x = KSF之間的關系。一般的彈簧設計是線性的，即KS的位移變化是恒定的，力-位移轉換過程是完全線性的，非線性的傳感器沒有貢獻的。對電容器的位移有2種結構變量和重疊區域可變間隙板。變面積的良好的線性度，但在相等的位移變化比的可變間隙的電容是小的，所以實際的多變量間隙法。

　　線性的力和位移之間的關系是影響傳感器線性度的又一個主要因素，通常在結構設計中會嘗試提高線性度。但考慮到非線性結構的位移與電容之間的關系，其力與位移之間的比例隨位移的絕對值的增大而減小，并在一定程度上抵消了非線性和改善力與電容的線性關系。

　　通過選取梁的寬度、應力和位移、位移和微分電容的非線性特性，在一定程度上抵消了彼此的非線性特性，從而提高了傳感器的線性度。