電容式接近傳感器基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關系，從而可以通過測量電壓的變化得到距離信息。

　　電容接近傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。

　　實際應用當中，源于獨特的磁屏蔽環設計，德國米銥公司的電容式傳感器可以實現近乎完美的線性測量。但是，電容傳感器要求探頭到被測物體之間的電介質必須均勻恒定。測量系統對于測量范圍內的電介質變化非常敏感。德國米銥公司的電容式位移傳感器也可以用于絕緣體的測量，源于這些絕緣體會改變測量間隙內的介電常數。通過后續電路的調整，即使測量絕緣體，也可以得到幾乎線性的信號輸出。源于電磁轉化過程，電容傳感器可以測量所有金屬。電容測量系統主要測量平板電阻的阻抗值，阻抗值與探頭到被測物體之間的距離成正比。

　　傳統電容式傳感器，會從電極側面散發磁力線。這中磁場會導致錯誤的測量結果。德國米銥公司的電容式傳感器帶有一個接地屏蔽環，可以有效減少側面磁場和邊界效應，從而得到更加準確的測量結果。從接地屏蔽環發出的磁力線不會影響測量結果。